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電子束光刻技術(shù)需要掩膜版么？

【2021-11-08】

　　電子束光刻技術(shù)又被稱為電子束曝光，這種工藝是利用電子束，在已經(jīng)進行過清洗、涂膠的硅片或者其他襯底上直接進行圖形繪制或投影復(fù)制圖形的技術(shù)，因為曝光系統(tǒng)是直接產(chǎn)生圖形的，所以不需要掩膜版呢。

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