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目前光掩模鉻版的基板材料有石英玻璃和蘇打玻璃（Soda-lime）兩種。 蘇打玻璃常用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL行業(yè)專用光學(xué)掩模版基材；石英玻璃其材料熱膨脹率小、有較好的透光率，通常用在TFT-LCD、IC、高精密光學(xué)器件的光掩模版基材。
類別 蘇打基材 石英基材
常規(guī)尺寸(mm) 3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9"
特殊尺寸(mm) 按客戶要求定做（XY=20~609mm）
基材厚度(mm) 1.6  2.3　3.0 2.3  3.0  6.4
鉻膜類型 　　　ARC Anti-Reflective Chrome
熱性能（℃） 710℃ 1730℃
溫度收縮系數(shù) 8.1*10ˉ6(20~200 ℃) 5.0*10-7 /℃ (20~200℃)
透過(guò)率 >90%(T=2.3mm；l=400nm） >90%(T=2.3mm；l=200nm）
折射率 1.52 1.46
垂直入射反射率 約8%（片面反射約4%） 約2%（片面反射約1%）
耐酸性能 H2SO4(80℃,99%) 0.1?/min H2SO4(80℃,98%) 0.0?/min
耐堿性能 NaOH（Wt2%）0.8?/min NaOH（Wt2%）0.4?/min
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