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2021-09-08

   光刻掩膜版 的正反面區(qū)分其實(shí)很簡單,最簡單的方法就是拿到光學(xué)顯微鏡下觀察,有圖形的一面則為正面,反之沒有圖形的一面為反面,刻蝕的時(shí)候光刻...

2021-09-03

  光刻膠分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠,在做工藝時(shí),使用正性光刻膠, 光刻掩膜版 上透光區(qū)域的光刻膠會(huì)被顯影掉,蒸發(fā)金屬時(shí)透光區(qū)域區(qū)域留下金屬C...

2021-08-20

  步進(jìn)式 光刻掩膜版 的材料是石英,因?yàn)槭⒀谀ぐ媸褂迷谏钭贤夤饪讨惺褂?,石英基材的熱膨脹系?shù)非常小,所以在溫度改變時(shí)間也是相對(duì)穩(wěn)定的,而且...

2021-08-02

光刻掩模版 主要由兩個(gè)部分組成,不透光材料與掩?;?。光刻版也被稱作鉻版,就是指在蘇打玻璃或石英玻璃上通過濺射的方式鍍一層鉻層,鉻層就是不透...
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