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掩膜版光掩膜基版光掩膜光刻掩膜版

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2021-09-08

　　光刻掩膜版的正反面區(qū)分其實(shí)很簡(jiǎn)單，最簡(jiǎn)單的方法就是拿到光學(xué)顯微鏡下觀察，有圖形的一面則為正面，反之沒(méi)有圖形的一面為反面，刻蝕的時(shí)候光刻...

2021-09-03

　　光刻膠分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠，在做工藝時(shí)，使用正性光刻膠，光刻掩膜版上透光區(qū)域的光刻膠會(huì)被顯影掉，蒸發(fā)金屬時(shí)透光區(qū)域區(qū)域留下金屬C...

2021-08-20

　　步進(jìn)式光刻掩膜版的材料是石英，因?yàn)槭⒀谀ぐ媸褂迷谏钭贤夤饪讨惺褂茫⒒牡臒崤蛎浵禂?shù)非常小，所以在溫度改變時(shí)間也是相對(duì)穩(wěn)定的，而且...

2021-08-02

光刻掩模版主要由兩個(gè)部分組成，不透光材料與掩?；?。光刻版也被稱(chēng)作鉻版，就是指在蘇打玻璃或石英玻璃上通過(guò)濺射的方式鍍一層鉻層，鉻層就是不透...

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