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2021-07-24

光刻掩膜版 的總體費用主要包含原材料費用以及相關設備機臺的使用費用,另外還有光刻掩膜版相關數(shù)據(jù)的使用軟件的購買以及授權(quán)等費用、相關的服務器費...

2021-07-24

目前 掩膜版 清洗常用的方法是使用氫氧化鉀溶液進行沖洗,然后再在掩膜版光學檢測設備中進行檢查,檢查結(jié)果不合適后再次投入氫氧化鉀溶液進行二次清洗...

2021-07-24

光刻掩膜版 的制作最重要的設備就是光刻機,光刻機英文名稱Mask Aligner,又名光刻系統(tǒng)、曝光系統(tǒng)等,它采用激光直寫的方式,在光刻掩膜版上面進行圖...

2021-07-24

目前 光刻掩膜版 的等級規(guī)格主要以尺寸、精度、以及基板材料為維度進行劃分。 光刻掩膜版 常用的的基板材料有石英玻璃和蘇打玻璃,石英玻璃熱膨脹系數(shù)...
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