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掩膜版光掩膜基版光掩膜光刻掩膜版

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制作掩膜版的材料是啥？

【2022-03-02】

掩膜版的制作首先需要提供掩膜基板，常見的掩膜基板有石英和蘇打兩種材料。

光刻過程則需要根據(jù)實(shí)際圖案選擇合適屬性的光刻膠，以完成曝光、顯影。

得到光致刻蝕圖案后，則需要使用特殊的化學(xué)試劑對(duì)初始掩膜版下表面進(jìn)行刻蝕。

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光刻掩膜版制作方法

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