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　　制作光刻掩膜版需要使用相關(guān)軟件制作版圖。

　　制作版圖時(shí)，可以先使用ppt或者其他簡(jiǎn)單的繪圖軟件設(shè)計(jì)pattern，在此基礎(chǔ)上，依據(jù)具體的圖形大小、間距，使用Coredraw、CAD、L-edit等矢量圖制作軟件再次準(zhǔn)確繪制，獲得光刻掩膜版制造方需要的版圖格式文件。